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近日，中共中央政治局常委、國務院副總理韓正在湖北省武漢市調研指出，要加大新技術、新產品商業化應用力度，提升產業集成水平，集中力量攻克“卡脖子”技術，增強關鍵基礎材料自主保障能力。
在中國科學院“率先行動”計劃第一階段實施進展發布會上，中科院院長白春禮表示：面臨美國對中國高科技產業的打壓，我們希望在這方面能做一些工作。我們把美國“卡脖子”的清單變成我們科研任務清單進行布局，比如航空輪胎、軸承鋼、光刻機，還有一些關鍵的核心技術、關鍵原材料等，我們爭取將來在第二期，聚焦在國家最關注的重大的領域，集中我們全院的力量來做。
方正證券指出，光刻機作為前道工藝七大設備之首（光刻機、刻蝕機鍍膜設備、量測設備、清洗機、離子注入機、其他設備），價值含量極大，在制造設備投資額中單項占比高達23%，技術要求極高，涉及精密光學、精密運動、高精度環境控制等多項先進技術。目前光刻機國產替代將迎來新的曙光，尤其是IC前道制造領域，將初步打破國外巨頭完全壟斷的局面，實現從0到1的突破。關注舉國之力助力國產替代的光刻產業鏈，一是光刻機核心組件；二是光刻配套設施：包括光刻膠，光刻氣體，光掩模版，光刻機缺陷檢測設備，涂膠顯影設備等。
相關上市公司中，賽微電子：公司生產的MEMS可應用于光刻機透鏡系統部件，產品服務于全球光刻機巨頭ASML。
晶方科技：ASML為公司參與并購的荷蘭Anteryon公司的最主要客戶之一。
奧普光電：長春光機所控股下的唯一上市平臺，90納米光刻機曝光系統是長春光機所聯合其他單位在國家專項資金的支持下開展的研發項目。
藍英裝備：公司控股子公司為荷蘭光刻機制造商ASML提供精密清洗解決方案。
